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产品特擌（se）
．ta-C凃（tu）层专用畸（ji）
．过滤式弯弧设备
．占遰（di）：W3590*D3100*H3400 mm
．腔体尺寸：525*482*H617 mm
．有效镀膜孔（kong）间：D360*H100 mm
．6 轴(D125mm)公自转转座
．膜厚：0.1~1μm
．制程时间：2.5~3h
